松下晶圆定位传感器样本，FX-301

松下晶圆定位传感器样本，FX-301

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3英寸以上的半导体晶圆(注2) 

可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3) 

检测角度 12.5±5°(注4) 

晶圆间距 间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5) 

适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒 

电源电压 12〜24V DC±10%　脉动P-P10%以下 

消耗电流 65mA以下 NPN输出／PNP输出　可由切换开关选择

<NPN输出>装备(自动复位) 

耐振动 频率10〜500Hz　双振幅3mm　X,Y和Z方向各2小时 

耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回 

投光元件 LED(调制式) 

工作状态指示灯 橙色LED(输出ON时亮起) 

稳定指示灯 绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯) 

定时器功能 装备约2ms固定断开延迟定时器　有效/无效切换式 

NPN开路集电极晶体管・较大流入电流：100mA 

外加电压：30V DC以下(输出和0V之间)

剩余电压：1V以下(流入电流为100mA时)

0.4V以下(流入电流为16mA时)

PNP输出>

PNP开路集电极晶体管

较大源电流：100mA

外加电压：30V DC以下(输出和+V之间)

剩余电压：1V以下(源电流为100mA时)

材质  外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯 

电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm 

反应时间 500μs以下 0〜＋55℃(注意不可结露)、存储时：−10〜＋70℃ 

使用环境湿度 35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH 

使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度1,500lx以下 

耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间 

绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表 

松下晶圆定位传感器样本，FX-301