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使用真空发生器的回路中的换向阀，有供给阀和真空破坏阀。使用真空泵回路中的换向阀，有真空切换阀和真空选择阀。
供给阀是供给真空发生器压缩空气的阀。
真空破坏阀是破坏吸盘内的真空状态，将真空变成大气压或正压力，使工件脱离吸盘的阀。真空切换阀就是接通或断开真空压力源的阀。真空选择阀可控制吸盘对工件的吸着或脱离，一个阀两个功能，可以简化回路设计。
供给阀印设置于正压管路中，可选用一般换向阀。真空破坏阀，真空切换阀和真空选择阀设置于真空回路或存在有真空状态的回路中，故必须选用能在真空压力条件下工作的换向阀。真空换向阀要求不泄露，且不用油雾润滑。故使用座阀式和膜片式阀芯结构比较。通径大时可使用外部先导式电磁阀。不给油润滑的软质密封滑阀，由于其通用性强，也常作为真空用换向阀使用。
| 换向阀系列 Y：功率型 R：外部先导型 V：真空型 | 供给阀 | 破坏阀 | 切换阀 | 选择阀 | 有效截面积 | 连接口径 | ||||||||
| 标准型 | 外部先导型 | 真空型 | 标准型 | 外部先导型 | 真空型 | 标准型 | 外部先导型 | 真空型 | 标准型 | 外部先导型 | 真空型 | |||
| SY100 | ○ | ○ | ○ | ○ | 0.14 | M3×0.5 | ||||||||
| SYJ300R/500R/700R | ○ | ○ | ○ | ○ | 2~14 | M3×0.5 M5×0.8 Rc1/8 Rc1/4 | ||||||||
| VZ100 | ○ | ○ | ○ | ○ | 0.6 | M5×0.8 | ||||||||
| VX31、32、33 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 1.4~9 | Rc1/8~Rc3/8 | ||||||
| VK330 | ○ | ○ | 2.7~4.2 | M5×0.8 Rc1/8 | ||||||||||
| VK330V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VX2 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 3~43 | ||||||||
| VT301、315 325、307、317 | ○ | ○ | 2.3~27 | Rc1/8~Rc3/8 | ||||||||||
| VT301V、315V 325V、307V、317V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VP300R、500R、700R | ○ | ○ | ○ | ○ | 16.2~72 | |||||||||
| VS311□ | ○ | ○ | ○ | ○ | 19.8~81 | Rc1/8~Rc3/4 | ||||||||
| VEX3□□□ | ○ | ○ | ○ | 25~670 | Rc1/8~Rc2 | |||||||||
| VEX3□□1 | ○ | |||||||||||||
| VP31□5 | ○ | ○ | 90~670 | Rc3/8~Rc2 | ||||||||||
| VP31□5V | ○ | ○ | ||||||||||||
| VG342R | ○ | ○ | ○ | ○ | 140~235 | Rc1/2~Rc1 | ||||||||
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