结构方式标准型真空吸盘KOGANEI，小金井检测方式

结构方式标准型真空吸盘KOGANEI，小金井检测方式

本产品的异常输出电路在电源接通约1秒钟后开始正常动作。在

设计装置安装时的异常检测电路时，应加以充分注意。

关闭除静电器本体的电源后，若立即接通电源，会产生异常输

出。关闭后需要重新接通时，应间隔1秒钟以上。

关闭除静电器本体的电源后，可能会产生异常输出。

 设计异常检测电路时，应充分注意在关闭除静电本体的电源后1

秒钟内不检测除静电器的异常输出。

：H.V关闭的状态下打开或关闭除静电器时也相同。

2：上述任一情况均不会影响除静电器的性能。

除静电特性为本公司测定的参考值，并非值。

内置有小型高压电源，可以使用电压DC电源。

无需专用的高压电源或高压配线，不会出现外露配线的高压故障。

可以准确地对目标点进行点状除电。

由于利用软管或金属管可以接近产品，因此可以迅速地对目标点进行除静电。

与带电物体之间的小距离仅为1mm。

在距离100mm处，从±1000V到±100V的衰减时间不到1秒种。

（使用标准喷嘴，施加0.1MPa时）

由于在离子吹风口没有集中电场，因此不会对器件等造成破坏。

传统的除静电器会因高压电而产生电场，

一旦靠近除静电器的话，便可能会导致器件损坏。

而小金井的除静电器不会对器件等造成破坏。

输出电压，因此几乎不会发生杂波干扰。

符合EN55011：1998 Group1 ClassA。

产生离子的高压系统出现异常时会输出警报。

可以防止因除静电器的除电不良而引起的产品质量问题。此外，可以选择a接点或b接点。

CE标志符合产品。

过滤器的IN口（Rc1/8、Rc1/4）为铝合金制。请勿使用钢管等进行

配管，以免作用过大的力。

过滤器的使用目的是为了去除固体物质，因此除此以外的水分油分应事先去除。

配管时，应注意确保空气以标签内的黑色箭头的方向流动。（请勿反向使用。）

止回阀会产生粒径0.3μm以上、每1cf/min 50个以下的发尘。

请勿接入断续的空气（间歇动作）。

否则，可能会损坏过滤膜。

以往用软管或金属管不能运送离子现成为可能。

即使是无法安装除静电器的地方也可进行除静电。

备有控制器。

备有用于去除固体杂质的管路过滤器（PLF100）和压力调节用调压阀，

可对喷嘴式除静电器的电源和空气的ON、OFF进行一体控制。

零件进料器在运送零件时，会因零件的摩擦等原因而产生静电，

从而导致零件粘附在进料器表面上。

通过使用除静电器，可以防止静电引起的零件粘附供应不畅的

现象。

此外，也可通过与风扇式除静电器一起使用来进行除静电。

使用离子风排放角度较大的花洒式喷嘴等，可以除去硅晶片等的

静电。

与高频电磁阀进行组合后，便可通过高节拍的间歇式离子送

风来除去静电和灰尘。

喷头品种增加，使用更方便。从微小范围到宽广区域，

均可高速有效地去除静电。喷头品种请参见P.18～P.19页。

放电针单元的拆卸方便，提高了维护性。

使用控制单元后，可通过外部信号对电源及供气的ON/OFF进行一体化控制。

通过控制器的设定，可间歇（5Hz或10Hz）吹出离子风。通过间歇吹出离子风，可提高除尘效果。

带有可通知除静电器运行时间的清洁定时器。运行300小时或500小时后，通过LED

指示灯和输出进行通知，因此可作为清洁的大致标准。详细内容请参见17页。

※清洁时间根据使用环境而不同。

将EP监视器的SW输出接至控制器的SIGNAL端子，控制除静电器

的放电和空气的ON/OFF。

使用控制单元电磁阀的间歇动作功能，将间歇离子风吹到工

件上，可提高除尘效果。

不含除静电器和外部连接设备。

控制输入的关闭时间应使用200ms以上。

可连接的电磁阀容量。电磁阀采用直动阀，应使用防浪涌产品及润滑脂用量少的产品。

除静电器的清洁时间根据使用环境而不同。清洁定时器可作为大致标准使用。

请在除静电器的使用压力范围内使用。

DTY-ZKCRU（控制单元）为DTY-ZKCR（控制器）和电磁阀的组合产品。电磁阀的耐久性因使用条件而与除静电器不同。

用于发尘型时，会有来自电磁阀的发尘，请加以注意。

间歇动作时，若电磁阀至除静电器的配管距离过长，可能不能得到间歇空气的效果，请加以注意。

测定方法采用20pF、□150mm的带电平板监测仪，按本公司的测定条件进行测定。

除静电时间为±1000V～±100V的衰减时间。

使用双头型除静电器和橡胶软管喷头，可以除去CD、DVD等的

两个表面上的静电和灰尘。

使用直棒式喷头，可以除去面积较大的搬运托盘等的静电。

使用双头型除静电器和橡胶软管喷头，可以防止因喷墨印刷过

程中产生的静电而造成的印刷质量问题。

通过更换扇格，可以选择除静电范围。

（注：请事先除去水分和油分）

可以防止从晶片盒中取出硅晶片时的放电，并预防放入晶片盒后

的硅晶片被机械臂吸住。

可以防止硅晶片表面吸附灰尘，并预防内部晶格损坏。

扇格及放电针部件可以拆卸，因而使维护性大为提高。

可利用风量调节旋钮来调节风量。

采用高频AC方式，实现了的电离平衡。（±10V以内）

 CE标志符合产品。

安装时，请勿对产品使用5mm以上的安装螺丝。否则安装螺丝可能

会碰到产品内部电路板，从而导致损坏。（恒定风量风扇式时）

在设置产品时，请确保留有一定空间，以免堵塞吸入口。

在检查清洁和维修产品时，请务必先将电源电缆线从连接插头上

拔下。

放电针顶端部非常尖锐，在拆卸放电针部件或进行清洁时请务必小

心，否则可能会导致受伤。另外，请注意不要弯曲或弯折放电针，否则

会导致性能下降。

请勿分解放电针部件。放电针顶端非常尖锐，可能会导致受伤。

倘若使用环境恶劣（如湿度过高的环境等）或是一直不清洁放电针的

话，则会造成性能下降，因此必须定期进行维护。关于维护方法请参

阅产品附带的使用说明书。

如要在外部执行电源ON/OFF，请在输入电源侧（DC＋24V侧）进行

操作。

使用直管螺旋喷头，可以除去容器内部的静电。杂波干扰

不会因放电针产生的感应电场而导致元件损坏。可以针对局部范围进行除静电。

（由于使用了软管，因而可以让喷头靠近器件）

在狭窄的场所，可以使用U型管喷头来除

去薄膜两面的静电。

使用双头型除静电器和2根直棒式喷头，

可以除去FPD用玻璃等的静电。

可以通过从输送管道的侧面插入管子/软

管来除去内部的静电。

以60°或90°的角度来喷射离子风。

以90°的角度来喷射离子风，

可以除去面积较大物体的静电。

可以对大范围区域进行除静电。

备有除静电范围为100～500mm的5种类型可供选择。

可同时除去薄膜两面的静电。

无需供应压缩空气。根据设置场所和用途的不同，共有3种类型可供选择。

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