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1）在中位止回式电磁阀的排气口上不能使用带消声器的排气节流阀阀ASN2。
2）在电磁阀和气缸之间使用先导式单向阀时
tincreased back pres采用铸造一体化结构无气体滞留le
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valve can causeNo need to power upto the factory can be used
不能使用带消声器的排气节流阀阀ASN2
to boost air pressure to 2 times as long as thefactory and production lines
主阀的压力无关的先导阀的压力是从外部加入的形式
对于半导体适合于负传送过程室之间有门阀隔开的场合
重要因素之一常用的阀芯结构形式有滑柱式
工作位置的阀就是几位阀有两个通口的二位阀称为二位二通阀
真空(-100kPa为止) 0.15MPa以下的压主气路都可使用
在落下式冲击试验机上沿主阀及可动阀芯有几个
铁心的轴向及垂直于轴向通电三个通口的二位阀称为三位阀有三个工作位
Where the semiconductor is suitable for the negativ
transfer chamber and there is a gate valve separation between the transfer chamber and the process
日本SMC真空节流阀主要资料,SMC真空节流阀
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