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美国派克PARKER气动隔膜阀应用参数

美国派克PARKER气动隔膜阀应用参数

  • 所属分类:美国派克PARKER
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2022-06-15
  • 产品概述
  • 性能特点
  • 技术参数

美国派克PARKER气动隔膜阀应用参数 


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930 系列隔膜阀(1-1 / 8英寸的阀体尺寸)可用于各种手动操作和气动执行器操作。它拥有优异的性,泄漏完整性和清洁度,使其在UHP半导体行业中成为的应用。

这些材料结合930系列严格的设计特点,给予了930系列产品在入口压力高达300 psig时的耐腐蚀性和更大循环使用寿命

930系列气动阀可以配置限位开关或接近开关,用以提供开-关位置指示。还有多种阀体构造可选,包括930Y系列(Y型阀)和SM930系列(面板安装)。

930系列阀门上内部(阀座)密封件和密封外的金属部件均通过质谱仪进行氦气泄露测试,以适应在苛刻的UHP应用中,保有其性能和稳定性。

派克930系列1-1/8英寸不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄漏完整性,高循环使用寿命和颗粒发生,非常适用于UHP半导体应用。

930系列采用不与过程流体接触无螺纹或弹簧设计,可大限度地减少颗粒产生和截留,减少半导体应用中必不可少的工艺污染。该系列阀门的严格设计,控制阀座和隔膜应力,以提供稳定和免维护的使用寿命

特点与YS:

·电抛光表面光洁度:5微英寸(Ra)·高循环使用寿命(包括耐腐蚀性服务)

·内部无弹簧和无螺纹设计可大限度地减少颗粒产生和气体截留·全压力范围使用:从真空到300 psig

·内部泄漏率: ≤1× 10-9 scc / sec He·外部泄漏率:≤2×10-10 scc / sec He·AOP驱动,额定压力为75 psig

应用:

·腐蚀性气体和特种气体·半导体工具

·工具连接·燃气柜

·阀组箱(VMB)

930系列阀门润湿部件由特种金属制成,提供的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体是内部采用电抛光处理的VericleanTM 316L不锈钢材质

Vericlean”是派克的UHP级不锈钢。隔膜是高强度钴基合金材质。930系列还提供聚三氟氯乙烯(PCTFE),聚配迷醚酮树脂(PEEKR)和聚酰亚胺(Vespel@)材质的阀座,可使930阀门与多种工艺流体相兼容。

市场:·半导体·分析实验室·制药

·生物制药·航空航天·工业

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