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接液后，检测液面。 由于覆盖有氟树脂，
因此，耐化学品性能优异。
E32系列 特点 40 耐真空
可在10-5 Pa的高真空环境中使用。
备有耐热温度120°C型和200°C型。
E32系列 特点 42
FPD/半导体/太阳能电池行业
限定反射型
E32系列 特点 43 玻璃基板校准
检测距离精度；0.2mm以下
距离发生变化，检测位置也不会改变。
特点是抗倾斜性强。
E32系列 特点 45
玻璃基板映射
在难以检测的R面也可稳定检测。
E32系列 特点 47
通过湿法工艺检测玻璃的有无
无需接触，玻璃即使有弯曲也可进行稳定检测。
采用球状头，可实现不受液体影响的稳定检测。
E32系列 特点 49
对射型 E32系列 特点 50 晶片映射
E32系列 特点 52 易于设置在机械臂上的薄型形状。
光轴调整简单（机械轴与光轴的偏差仅为±0.1Typ）
狭窄的晶片之间也可准确检测晶片。
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